Multi Wafer 156*156mm Item Specification
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Item
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Specification
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Unit
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Remarks
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| Crystal Growth Method |
C
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--
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| Conductivity Type |
P
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--
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| Dopant |
Boron
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--
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| Resistivity |
0.5 ~ 3.0
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Ω - cm
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| Oxygen Contents |
< 8 x E17 at/cm3
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ASTM F121-83 |
| Carbon Contents |
< 1 x E18 at/cm3
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| Lifetime |
≧ 2.0
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us
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Brick Level |
| Square length |
156 ± 0.5
|
mm
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| Thickness |
200 ± 20
|
µm
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Center Point |
| TTV |
≦ 40
|
µm
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| Bevel Width |
0.5~2.0
|
mm
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| Warp |
≦ 100
|
μm
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| Edge Chips |
≦ 0.5
|
mm
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De-stressed |
| Front Surface |
As wire-saw
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--
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Length <1.5 mm ; (Max 1 pcs/w) |
| Back Surface |
As wire-saw
|
--
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| Appearance |
Free of cracks, craw feet, foreign material ; Saw mark depth < 15 um ; Total micro-grain area /w < 2 cm2 |
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| Packing | Shrink wrap ; per 100 wafers | ||
| Note | A+ Grade ; Angle between square sides : 90 deg. +/-18' | ||
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