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6N 多晶矽(硅)

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6N 多晶矽(硅)

Poly Silicon 6N Element Concentratio (ppm wt)

Poly Silicon 6N

Element
Concentratio (ppm wt)
Element
Concentratio (ppm wt)
Li
< 0.001
Ag
< 0.01
Be
< 0.001
Cd
< 0.05
B
0.22
In
< 0.01
F
< 1
Sn
< 0.01
Na
< 0.01
Sb
< 0.01
Mg
< 0.005
Te
< 0.01
Al
0.06
I
< 0.01
Si
Matrix
Cs
< 0.001
P
0.12
Ba
< 0.01
S
< 0.02
La
< 0.01
Cl
< 0.05
Ce
< 0.005
K
< 0.05
Pr
< 0.005
Ca
< 0.05
Nd
< 0.005
Sc
< 0.001
Sm
< 0.005
Ti
< 0.005
Eu
< 0.005
V
< 0.005
Gd
< 0.005
Cr
< 0.01
Tb
< 0.005
Mn
< 0.005
Dy
< 0.005
Fe
< 0.01
Ho
< 0.005
Co
< 0.005
Er
< 0.005
Ni
< 0.01
Tm
< 0.005
Cu
< 0.01
Yb
< 0.005
Zn
< 0.05
Lu
< 0.005
Ga
< 0.05
Hf
< 0.01
Ge
0.1
Ta
-
As
< 0.01
W
< 0.05
Se
< 0.01
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< 0.01
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< 0.01
Os
< 0.01
Rb
< 0.01
Ir
< 0.01
Sr
< 0.01
Pt
< 0.01
Y
< 0.01
Au
< 0.1
Zr
< 0.01
Hg
< 0.01
Nb
< 0.01
Tl
< 0.01
Mo
< 0.05
Pb
< 0.01
Ru
< 0.01
Bi
< 0.01
Rh
< 0.01
Th
< 0.005
Pd
< 0.01
U
< 0.005

Note : Analysis conducted according to SEMI PV1-0309

- S by SIMS.

Purity = 99.99995%

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