真空擴散油

擴散泵矽油BRB-74高真空技術中使用的擴散泵油，要求耐熱氧化性，冷卻溫度下蒸氣壓低，且其蒸氣壓隨溫度變化大，沸騰溫度不能過高。早期曾使用水銀，目前主要使用礦油類、酯類、聚苯醚及矽油等。其中以矽油的性能最好，它具有熱氧化穩定性高、粘溫係數小、沸點範圍窄、蒸氣壓曲線陡（溫度變化一點，蒸氣壓變化很大），常溫蒸氣壓低，凝固點低，加之化學惰性，無毒、無味、無腐蝕。因而它可在250℃下長時間使用，在真空下允許在更高溫度下使用。
當前各國使用的擴散泵矽油主要仍是DOW CORNING公司開發的下列兩種：DC-704和DC-705。

高真空技術中使用的擴散泵油，要求耐熱氧化性，冷卻溫度 下蒸氣壓低，且其蒸氣壓隨溫度變化大，沸騰溫度不能過高。早期曾使用水銀，目前主要使用礦油類、酯類、聚苯醚及矽油等。其中以矽油的性能最好，它具有熱氧 化穩定性高、粘溫係數小、沸點範圍窄、蒸氣壓曲線陡（溫度變化一點，蒸氣壓變化很大），常溫蒸氣壓低，凝固點低，加之化學惰性，無毒、無味、無腐蝕。因而 它可在250℃下長時間使用，在真空下允許在更高溫度下使用。 
       當前各國使用的擴散泵矽油主要仍是DOW CORNING公司開發的下列兩種：DC-704 1.333×10-7~1.333×10-11kPa（無阱條件下）      

特點：

縮短調節運行時間；

單一組分矽油比用多組分矽油達到最大真空度需要的時間短得多；

快速抽空；

極小的回流，BRB-74單一組分矽油的蒸汽壓力是很低的，以至對於許多應用阱或現存的阱致冷是不需要的；

較長的服務壽命；

矽油的熱和化學穩定性允許長久的運行而不被惡化和污染；

清洗系統維修需求較少；

較快的迴圈，減少停機時間，更換油的需求少。

使用矽油的擴散泵被廣泛用在電子、電氣及金屬加工等要求高真空系統的領域，如顯像管、燈泡、大功率電子管、微波電子管、原子能加速器、電子顯微鏡、半導體元件、積體電路、電子部件、金屬真空鍍膜、真空冶金、加工鍛燒裝置及真空蒸餾等部門。