規格說明： 外觀尺寸: 292.2(L)x282.8(w)x253.8(H) mm 承載容量:
規格說明：
適用晶圓: 8吋
提供光罩片進出各種俱標準化機械介面之半導體製程設備及輸送系統，或儲放於一潔淨環境時，避免置放於其中的光罩片遭受微小塵粒(Particles)的污染，達到控制微小塵粒污染的目的。
外觀尺寸: 292.2(L)x282.8(w)x253.8(H) mm
承載容量: 8吋晶圓卡匣 x1
組成材質: 客製化
Dimension: 292.2(L)x282.8(w)x253.8(H) mm
Capacity: 1 Set 8”Wafer CST
Wafer size: 8inch
Material: Customized
用途說明：提供光罩片進出各種俱標準化機械介面之半導體製程設備及輸送系統，或儲放於一潔淨環境時，避免置放於其中的光罩片遭受微小塵粒(Particles)的污染，達到控制微小塵粒污染的目的。
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