氣體質量流量控制器 M3030V-A

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氣體質量流量控制器 M3030V-A

气体质量流量控制器(MassFlowController)韩国原装进口高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器,广泛应用于半导体工业和其他行业,产品设计坚固、耐用,且经济。

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韩国原装进口数字式、高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器,使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。
广泛应用于半导体工业和其他行业,产品设计坚固、耐用,且经济。
应用:

所有工业

气体混合及分析

注气、表面加工行业

  PVC,CVD,反应器等)

半导体工业

部件泄露检测

产品研究和开发

高压行业

光纤

燃料电池

反应器系统

气体的混合系统

优势:

测量质量流量

不需要温度、压力补偿

紧凑的流量控制系统

高精度(±1%F.S)

耐高压(95公斤)

快速响应时间(<1秒)

高重复性(±0.25%F.S)

规格:

型     号 M3030V/A
流量范围(N2) 0.01~30 slpm
响应时间 2
精确度 ±1%
重复精度 ±0.25%
输入输出信号 0~5Vdc or 4~20mA 
供电 +15Vdc or +24Vdc,350mA
最大工作压力 5~1300 psia
最大工作温度 0~50
漏率 1×10-9atm.cc/sec
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