气体质量流量控制器 M3100V-A

韩国原装进口高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器，使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。
广泛应用于半导体工业和其他行业，产品设计坚固、耐用，且经济。

应用：

l 所有工业

l 气体混合及分析

l 注气、表面加工行业

  （PVC,CVD,反应器等）

l 半导体工业

l 部件泄露检测

l 产品研究和开发

l 高压行业

l 光纤

l 燃料电池

l 反应器系统

l 气体的混合系统

优势：

l 测量质量流量

l 不需要温度、压力补偿

l 紧凑的流量控制系统

l 高精度（±1%F.S）

l 耐高压（95公斤）

l 快速响应时间（＜1秒）

l 高重复性（±0.25%F.S)

规格：

型  号	M3100V/A
流量范围（N2)	30~100 slpm
响应时间	＜2秒
精确度	±1%
重复精度	±0.25%
输入输出信号	0~5Vdc or 4~20mA
供电	+15Vdc or +24Vdc,350mA
最大工作压力	30~1000 psia
最大工作温度	0~50℃
漏率	1×10-9atm.cc/sec
控制范围	2~100%