光阻塗佈機

Spin Coater,光阻塗佈機,小型旋轉塗佈機 For silicon wafers,glass,metal or ceramic substrates. Spec. 規格說明： 1. 外部尺寸：260W×290D×270Hmm，PP材質製作 2. 轉速範圍：500-8000RPM，二段機械旋鈕設定控制，轉速LED顯示 3. 轉速精確度：＜1% (實際轉速與轉速顯示值之誤差) 4. 時間設定控制範圍0-999秒 5. 內部機件由板面控制開關，與旋轉吸盤分開 6. 真空用電磁閥獨立開關控制 7. 控制系統可自行運作與阻斷 8. 操作性能可靠，快慢轉速皆能維持穩定性 9. 電源線及真空管線出口以接頭和外部連接，安裝容易 10. 廢氣排放口由樣品腔上之通氣孔螺絲，確保使用者安全 11. 不銹鋼樣品腔 Ø 240mm，可選配至 8"治具 12. 透明強化壓克力上蓋 13. 超小型化，業界最小，可輕易進出手套箱、傳遞箱，精省空間 14. 超小型馬達，專為高轉速而開發，性能優異、品質穩定 15. 附真空幫浦一台 16. 附不銹鋼吸盤1/2"，1"各一個 --------------------------------------------- 旋轉塗佈機使用說明： 1.本機共分二個計時器，用來控制時間 2.首先開啟電源開關 (POWER) a. 第1個STEP 第1段旋轉塗佈時間 b. 第2個STEP 第2段旋轉塗佈時間 (按下START前請將時間設定好)3.將晶片置放於適當的吸盤上 (請依晶片大小選擇適當的吸盤大小) 4.開啟真空幫浦開關 (PUMP) 真空幫浦開始啟動，此開關與電源開關為連鎖動作，如不開啟機器無法運作 5.再按啟動開關 (START) 則計時器依序計時，時間在面板計時器上顯示，轉速在面板RPM錶上顯示 6.轉速由面板上自藕變壓器控制，可分為STEP 1、STEP 2兩段各自控制轉速 7.待計時及轉速停止後， 按下(PUMP) 開關關掉真空幫浦，取出晶片即完成 8.關閉 (POWER) 開關 (可再依先前操作順序重新操作) ****************************************************************** 聯絡資料 公司：力丞儀器科技有限公司 電話：03-375-7588 傳真：03-375-7088 地址：[桃園縣 / 桃園市]桃園縣桃園市經國路9號7樓之1 營業項目：www.apisc.com.tw 會員服務：joey@apisc.com