全自動化烤箱可與EFEM或機械手臂搭配 可把相關數值上傳至伺服器,達到無人工廠自動化之目的
佈建感測器 :溫度感測器、含氧量偵測器、N2氣體含量感測器、無人搬運車(AGV)電池容量檢知、物料在席檢知器(Loader/Unloader/烤箱),自動開關位置檢知。
佈建驅動器:烤箱自動開關馬達與控制器、無人搬運車(AGV)(驅動馬達與堆高擺放 )、風流控制馬達在Loader與烤箱設備各配置一個連網型PLC控制器;Loader與機械手臂之間的聯繫透過WiFi聯網。
製程溫度:RT ~450℃
溫度均勻度:± 1.5%
無塵度:Class 100
冷卻方式:氣冷(N2/CDA)、水冷
搭配設備:EFEM 、機械手臂
含氧量:20ppm
操作介面人性化操作介面,並可符合 CIM,Ethernet & SECS/GEM, PCB ECI
選配.氣冷快速降溫方式:
.Solvent 回收系統
.快拆式內襯裝置
製程:晶片和基板形式固化,用於PR/PI固化和烘烤;是晶圓等級及扇出型面板級封裝最佳固化解決方案。
LED,T8充電式日光燈,方向指示燈,省電,節能燈,緊急出口燈,螢光燈管