全自動化高溫無塵無氧化烤箱

全自動化高溫無塵無氧化烤箱特點說明

自動控制與物聯網整合

• 佈建感測器 ：溫度感測器、含氧量偵測器、N2氣體含量感測器、無人搬運車(AGV)電池容量檢知、物料在席檢知器(Loader/Unloader/烤箱)，自動開關位置檢知。

• 佈建驅動器：烤箱自動開關馬達與控制器、無人搬運車(AGV)(驅動馬達與堆高擺放 )、風流控制馬達在Loader與烤箱設備各配置一個連網型PLC控制器；Loader與機械手臂之間的聯繫透過WiFi聯網。

產品應用

• 半導體、PCB、LED、電子產業...等需自動化生產之產業。

烤箱規格 OVEN SPECIFICATION (PLC/PC base)

製程溫度:RT ~450℃

溫度均勻度:± 1.5%

無塵度:Class 100

冷卻方式:氣冷(N2/CDA)、水冷

搭配設備:EFEM 、機械手臂

含氧量:20ppm

操作介面人性化操作介面，並可符合 CIM,Ethernet & SECS/GEM, PCB ECI

選配．氣冷快速降溫方式:
．Solvent 回收系統
．快拆式內襯裝置

製程:晶片和基板形式固化，用於PR/PI固化和烘烤；是晶圓等級及扇出型面板級封裝最佳固化解決方案。