濕式蝕刻清洗機

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濕式蝕刻清洗機

一般都分成酸/鹼與有機兩大類,用於酸/鹼溶劑的Wet Bench,主體都使用WPP材質;用於有機溶劑的Wet Bench,溶劑槽則以石英與不繡鋼材質作搭配。

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  •  Wet Bench一般都分成酸/鹼與有機兩大類,用於酸/鹼溶劑的Wet Bench主體都使用WPP材質,而溶劑槽則以石英與鐵氟龍材質作搭配;用於有機溶劑的Wet Bench,因為有燃點較低的問題(如:ACEIPA)所以主體大多使用不銹鋼,溶劑槽則以石英與不繡鋼材質作搭配,並且附掛CO2滅火裝置。
  • Wet Bench一般都會依需求客製,但是各單位的考量卻會造成許多錯誤的選擇。 一般而言,製程人員考量使用溶劑與溫度,設備維護人員考量管、閥件、加熱控溫系統、 熱氮吹乾設計,生產單位則考量操作與使用的便利性,採購人員考量的就是價格。
  • 我們會整合各單位需求條件,訂定基本要素,劃清重點,設計、製造符合客戶需求之設備。
  • 首先,必須知道可用區域,才可以確定機台的主體大小。再來就是需要使用的溶劑有哪一些? 製程溫度是多少?獲得這些資料後,就可以開始進行規劃討論!
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