Specification:1.4" Wafer stainless vacuum chuck2.Chuck
Specification:
1.4" Wafer stainless vacuum chuck
2.Chuck x-y stage行程101.6mmx101.6mm ring
3.Chuck theta rotation 0°~360° manual微調
4.Platen U型固定不動
5.chuck x-y stage最小移動距離≦5um
6.chuck 面積4"卡盤平整度≦5um
7.Box底座尺寸(450mm長x320mm寬x50mm高)
採用億光LED,單盞光通量達650/630Lm,輸入電壓為110V~220V通用電壓,從燈具開模到生