顯定影機Development M/C 自動顯影機Auto Developing M/C 佔面積590DP*1200L*1500H,四軸及六軸3”~4”晶
顯定影機Development M/C
自動顯影機Auto Developing M/C
佔面積590DP*1200L*1500H,四軸及六軸3”~4”晶圓使用,白色PP不锈鋼外殼機架,主軸轉速最高8000RPM,主軸馬達120W*2加速度控制及時間顯示,附沈澱箱,上料架,烤盤 hot plate,行程可程式設定噴頭組六軸
上膠機PR Spin coater(PR上膠,塗硼,塗白金水)
佔空間1100*800DP*1380H,三軸手動型附二式吸盤,中央系統抽風及攔膠絲裝置,附加熱器及材料車,三軸獨立三段時間速度控制
配互換式易拆專用吸盤,選用自動灌膠配下拉式抽風系統
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