顯定影機Development M/C 自動顯影機Auto Developing M/C 佔面積590DP*1200L*1500H，四軸及六軸3”~4”晶
顯定影機Development M/C
自動顯影機Auto Developing M/C
佔面積590DP*1200L*1500H，四軸及六軸3”~4”晶圓使用，白色PP不锈鋼外殼機架，主軸轉速最高8000RPM，主軸馬達120W*2加速度控制及時間顯示，附沈澱箱，上料架，烤盤 hot plate，行程可程式設定噴頭組六軸
上膠機PR Spin coater（PR上膠，塗硼，塗白金水）
佔空間1100*800DP*1380H，三軸手動型附二式吸盤，中央系統抽風及攔膠絲裝置，附加熱器及材料車，三軸獨立三段時間速度控制
配互換式易拆專用吸盤，選用自動灌膠配下拉式抽風系統
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