本公司精密加工各類陶瓷零件：氧化鋁、氧化鋯、氮化矽、碳化矽、氮化鋁、石英等超硬陶瓷材料。
•本公司精密加工各類陶瓷零件：氧化鋁、氧化鋯、氮化矽、碳化矽、氮化鋁、石英等超硬陶瓷材料。
應用：半導體設備以及LCD設備之關鍵零組件及耗材多應用於前段製程，如：離子植入、微影顯像、化學氣相沈積成膜、蝕刻、濺鍍、洗淨、MOCVD磊晶等製程設備，其中有一大部份是使用在真空腔體環境中 ，也因在真空腔體環境下長時間使用化學氣體的情況下，腔體內部所需使用的零件就特別需要注意是否可以耐酸鹼，耐腐蝕，耐磨擦…等。
#陶瓷手臂#真空吸盤#半導體陶瓷#氧化鋯陶瓷#氮化矽陶瓷#陶瓷表面處理#陶瓷鍍膜
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