項目 Unit HSA-4210 X軸行程 mm 4050 Y軸行程 mm 2100 Z軸行程 mm 780/1070(op) 主軸端至台面 mm 225-1005- 225-
系統設計主要針對乾燥條件要求嚴格之製程, 例如醫療產品/透明性產品應用