原子層沉積系統有兩個製程腔體,分別作為高介電常數介電層薄膜沉積。薄膜沉積為熱反應方式,非電漿增強型原子層沉積(PEALD)。
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(1)、訊號放大器功能: 訊號放大器是配合張力控制器使用於磁粉剎車器/離合器時,將控制訊號之電壓與電流放大。 (2)、手動控制器功能:
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