晶圓片外觀檢查機

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晶圓片外觀檢查機

半導體晶圓基板厚度及外徑量測機簡介: 中空式XY軸線性馬達定位平台結合雷射探頭,可量測基板的厚度與翹曲,並結合影像量測裝

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半導體晶圓基板厚度及外徑量測機


簡介: 中空式XY軸線性馬達定位平台結合雷射探頭,

可量測基板的厚度與翹曲,並結合影像量測裝置,進行外徑與瑕疵檢測。

平台底部搭載LIFT PIN,自動頂放料件,可結合SCARA機械手臂,進行自動上下料。
 

應用:基板厚度、翹曲、外徑量測及瑕疵檢測。

晶圓檢查機1
晶圓檢查機1
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企業名片

  • 公司名稱:AOI,半導體設備,wafer,鍍鋁片,氧化膜片,氣浮導軌,花崗石構件
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  • 電子郵件:ra*@euchang.com
  • 詢價官網:https://euchang.tw66.com.tw
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