氣浮式線性馬達運動平台簡介:具有XY之定位運動,其架構為H型型式,XY移動於同一平面上,可降低平台高度減少阿貝誤差,導軌
氣浮式線性馬達運動平台
簡介:
具有XY之定位運動,其架構為H型型式,XY移動於同一平面上,可降低平台高度減少阿貝誤差,
導軌使用陶瓷多孔材質之氣浮軸承所組成之氣浮導軌,其氣浮穩定性較佳,驅動裝置及回授裝置使用線性馬達搭配光學尺,
此平台運動結構摩擦力小,具有快速移動,精度高,整定時間快等優勢。
應用:曝光機載台,影像量測載台
化學化工制程定量加藥設備産品規格︰1.0.2-240GPH.2.1-210Kg/Cm2.3.液壓膜片