奈米級高精度定位平台技術簡介Introduction 奈米級高精度定位平台運動機構主要整合氣浮式線性馬達平台、壓電補償平
奈米級高精度定位平台
技術簡介Introduction
奈米級高精度定位平台運動機構主要整合氣浮式線性馬達平台、壓電補償平台，回授系統使用多自由度雷射干涉儀量測系統，利用壓電補償平台補正線性馬達定位平台移動時之幾何誤差，且多自由度雙頻雷射干涉儀定位回授量測系統，解析度高、反應快速，因此定位平台移動速度快且定位精度高。
定位平台規格 Specifications
XY軸位移行程: 200mm×200mm
驅動方式: 線性馬達
最快移動速度: 150mm/s
回授方式: 雷射干涉儀
量測解析度: 0.154nm
定位精度: 50nm/200mm
直線度誤差: 50nm/200mm
Yaw角度誤差: <0.5arcsec/120mm
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