半導體設備指在半導體生產製造過程中的設備。半導體設備主要包括集成電路設備、光伏設備、LED設備和分立器件設備。
半導體設備零件指在半導體生產製造過程中的設備。半導體設備主要包括集成電路設備、光伏設備、LED設備和分立器件設備，電子零件...等等。
集成電路設備零件
集成電路晶圓生產設備關鍵部件進口額占設備銷售額的30%～40%。例如，干泵、分子泵、機械手 （潔淨、真空）、高溫加熱裝置 （溫控器）、射頻電源、真空閥門等。[1]
光伏設備
PRCE晶矽太陽能電池片生產線設備
全自動、智能化、大產能單晶矽生長和切片設備
上述部分產品是需要用到精密零件加工
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