光阻旋轉塗佈

PHOTORESIST SPIN COATER光阻旋轉塗佈 觸控可程式光阻塗佈機 規格說明： 機台尺寸: 400Wx450Dx550H 本體材質: P.P板一體成型 塗佈範圍: 1/2〞~ 8〞，隨機附1/2”、1”治具(2〞~ 8〞選購) 控制面板: 6”觸控式薄膜液晶面板 旋轉馬達: 直流馬達150W含DC驅動器 旋轉數精度: ＜1％轉以內 旋轉時間: 0~999.9秒，每段皆可設定 加速度: 300~2000/秒，每段皆可設定 氮氣充填: 0~999.9秒，每段皆可設定 光阻充填: 0~999.9秒，每段皆可設定 記憶模組: 21組程式 轉數設定: 22 Step 轉數設定: 300~8000rpm，每段皆可設定 樣品台: 真空吸著式 控制項目: 旋轉馬達的迴轉數,迴轉時間,加速度參數設定,真空值Kpa設定 緊急停止裝置: 真空值保護可設定,迴轉中若低於設定會緊急停止 操作腔體: 不銹鋼內徑26cm /旋鈕快拆式腔體設計/分離式上蓋/易於清潔清洗廢液回收 特殊需求: 各式治具訂製 ****************************************************************** 聯絡資料 公司：力丞儀器科技有限公司 網址:www.apisc.com 電話：03-375-7588 傳真：03-375-7088 地址：桃園縣桃園市經國路9號7樓之1營業項目：www.apisc.com.tw 會員服務：joey@apisc.com