PHOTORESIST SPIN COATER光阻旋轉塗佈 觸控可程式光阻塗佈機 規格說明： 機台尺寸: 400Wx450Dx550H 本體材質: P.P板一體成型 塗佈範圍:
PHOTORESIST SPIN COATER光阻旋轉塗佈
觸控可程式光阻塗佈機
規格說明：
機台尺寸: 400Wx450Dx550H
本體材質: P.P板一體成型
塗佈範圍: 1/2〞~ 8〞，隨機附1/2”、1”治具(2〞~ 8〞選購)
控制面板: 6”觸控式薄膜液晶面板
旋轉馬達: 直流馬達150W含DC驅動器
旋轉數精度: ＜1％轉以內
旋轉時間: 0~999.9秒，每段皆可設定
加速度: 300~2000/秒，每段皆可設定
氮氣充填: 0~999.9秒，每段皆可設定
光阻充填: 0~999.9秒，每段皆可設定
記憶模組: 21組程式
轉數設定: 22 Step
轉數設定: 300~8000rpm，每段皆可設定
樣品台: 真空吸著式
控制項目: 旋轉馬達的迴轉數,迴轉時間,加速度參數設定,真空值Kpa設定
緊急停止裝置: 真空值保護可設定,迴轉中若低於設定會緊急停止
操作腔體: 不銹鋼內徑26cm /旋鈕快拆式腔體設計/分離式上蓋/易於清潔清洗廢液回收
特殊需求: 各式治具訂製
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