* 全自動行程生產 * 全機採耐酸鹼材質，抗腐蝕 * 穩定之高產出率及低破片率 * 全自動補液技術 * 優良製程能力及製程監控系統 * 可依客戶產能需求搭配之客製化設備
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* 反應區及洗淨部分組成，採用模組化設計
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- 公司名稱:華康半導體股份有限公司WAKOM
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