* 去除爐管製程中產生之磷硅玻璃 * 高產能及低破片率之批次式 (Batch-Type)全自動清洗設備 * 提供單晶矽片表面髒汙及磷硅玻璃清洗處理 * 採用特殊乾燥系統設備,有效降低
D2550/SR0VY 大量需求