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BPE-400 4" probe station 探針台

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BPE-400 4" probe station 探針台

BPE-400 4" probe station 1.4"wafer stainless vacuum chuck 2.chuck x-y stage 101.6mmx101.6mmring

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BPE-400 4" probe station
specification:
1.4"wafer stainless vacuum chuck
2.chuck x-y stage行程101.6mmx101.6mmring
3.Chuck X-Y stage distance 4”x4”
4.Chuck theta rotation 0°～360° manual微調
5.Platen U型固定不動
6.chuck x-y stage最小移動距離2um
7.chuck 面積4"卡盤平整度:5um
9.Box底座尺寸(450mm長x320mm寬x50mm高)

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