『光學自動檢測系統』 『光學自動檢測系統』可提供晶圓廠檢測晶圓盒的各項重點尺寸,避免因為晶圓盒變形產生不必要的損
『光學自動檢測系統』
『光學自動檢測系統』可提供晶圓廠檢測晶圓盒的各項重點尺寸,避免因為晶圓盒變形產生不必要的損失。
1.中勤獨家軟體影像辨識技術,檢測人工無法量測尺寸
2.搭配高速、高解析度工業相機,使用非接觸式技術,檢查晶圓位置尺寸,並符合半導體規範
3.設計符合2”~12”晶圓盒通用機型
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