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DELTA-F微氧分析儀為檢驗管路中的含氧份程度，含氧份程度過高會引起腐蝕性及易燃體產生化學作用，為確保管路及設備之運作品質，並依半導體廠對製程氣體管路含氧量之要求，進行必要之測試設備。川研公司專業代理銷售全新或二手之DELTA-F微氧分析儀。
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