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SMIF Pod - 晶舟自動化傳送盒

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SMIF Pod - 晶舟自動化傳送盒

SMIF Pod 晶舟自動化傳送盒，自動化傳送盒內放置晶舟(Cassette)，可固定晶圓片，確保200mm晶圓在製程站間運送與儲存的安全防護。尺寸皆符合SEMI規範，並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。

晶舟自動化傳送盒 / 晶舟傳送盒 / Wafer SMIF Pod 200mm(8吋)
 
晶舟自動化傳送盒
產品規格
產品名稱：SMIF Pod / 晶舟自動化傳送盒
產品編碼：WSP200
產品尺寸：
　 292.2(L) x 282.8(W) x 253.6(H)mm
重　　量：2600g
容　　量：1 Set 8”Wafer Cassette
適用晶圓：200mm(8吋)晶圓
組成材質：PC/PC ESD
 
產品說明

SMIF Pod 晶舟自動化傳送盒，自動化傳送盒內放置晶舟(Cassette)，可固定晶圓片，確保200mm晶圓在製程站間運送與儲存的安全防護。尺寸皆符合SEMI規範，並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。

高潔淨度承載，選配充氣功能，耐高溫耐磨耗材質
CHD三點定位接觸設計，減少印痕 
晶舟自動化傳送盒 晶舟自動化傳送盒 晶舟自動化傳送盒
8" 晶舟自動化傳送盒 8" 晶舟自動化傳送盒 底盤無螺絲設計版本
產品特點

專利字號：
台灣專利字號第M409526號

可搭配RFID電子貨架使用，可自動讀取RFID，記錄每個格位最近100筆RFID資料，並透過人機介面查詢。
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