SMIF Pod 晶舟自動化傳送盒,自動化傳送盒內放置晶舟(Cassette),可固定晶圓片,確保200mm晶圓在製程站間運送與儲存的安全防護。尺寸皆符合SEMI規範,並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。
晶舟自動化傳送盒 / 晶舟傳送盒 / Wafer SMIF Pod 200mm(8吋)
高潔淨度承載,選配充氣功能,耐高溫耐磨耗材質 CHD三點定位接觸設計,減少印痕
專利字號: 台灣專利字號第M409526號
可搭配RFID電子貨架使用,可自動讀取RFID,記錄每個格位最近100筆RFID資料,並透過人機介面查詢。
(各種工程塑膠絕緣材料板材、棒材、管材、薄板刮刀、螺絲、螺帽、齒輪、華司、墊片、套筒、治具等。