SMIF Pod 晶舟自動化傳送盒，自動化傳送盒內放置晶舟(Cassette)，可固定晶圓片，確保200mm晶圓在製程站間運送與儲存的安全防護。尺寸皆符合SEMI規範，並提供高潔淨度之晶圓承載與自動化解決方案。
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晶舟自動化傳送盒 / 晶舟傳送盒 / Wafer SMIF Pod 200mm(8吋) |
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