鐵氟龍卡匣 300mm(12吋) 13 Slot

鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 為 承載半導體晶圓片的容器，可依照客戶需求設計，耐高溫200~220℃、強酸、強氟酸、強鹼，應用於Fabrication廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。

鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 300mm(12吋) 13 Slot

產品名稱：12" Teflon Cassette / PFA Cassette 產品編碼：PF-C300-T 產品尺寸：355(L) x 180(W) x 325(H)mm 重　　量：3600g 容　　量：13 PCS 適用晶圓：12 inch (Ø300mm) 晶圓 組成材質：Teflon(鐵氟龍) / PFA 槽　　距：12.7mm   鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 為 承載半導體晶圓片的容器，可依照客戶需求設計，耐高溫200~220℃、強酸、強氟酸、強鹼，應用於Fabrication廠內之酸鹼製程中使用、傳送晶圓。槽距較大的設計，可應用於薄化晶圓。 進入化學酸、鹼蝕刻製程中，鐵氟龍晶圓盒需要靠手把夾持，可搭配鐵氟龍手把使用。 鐵氟龍晶圓盒 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍卡匣 6"、8"、12" 12/13 slot Teflon Cassette / PFA Cassette 全尺寸編碼列表 吋別 備註 產品編碼 尺寸 裝箱數 2" 無豆 PF-C050-B 142.1(L) x 67.8(W) x 59.00(H)mm 10 PCS 2" 有豆 PF-C050 142.1(L) x 67.8(W) x 59.0(H)mm 10 PCS 2.5"   PF-C060 142(L) x 79(W) x 73(H)mm N/A 3"   PF-C075 142.49(L) x 94.36(W) x 82.53(H)mm 1 PCS 4"   PF-C100 142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm 16 PCS 4" 鏤空 PF-C100-H 142.24(L) x 125.48(W) x 114.3(H)mm 16 PCS 5"   PF-C125 152.4(L) x 142.88(W) x 146.05(H)mm 6 PCS 6"   PF-C150 143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm 12 PCS 6" 黑色 PF-C150-B 143.38(L) x 177.8(W) x 171.45(H)mm 12 PCS 6" 12 Slot PF-C150-T 177.8(L) x 143.38(W) x 171.45(H)mm 12 PCS 6" Low Profile PF-C150-L 143.38(L) x 177.81(W) x 114.3(H)mm 12 PCS 8"   PF-C200 203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS 8" 鏤空 PF-C200-H 203.2(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS 8" 13 Slot PF-C200-T 203.05(L) x 233.05(W) x 218.44(H)mm 2PCS 8" Low Profile PF-C200-L 220.5(L) x 234.19(W) x 159(H)mm 1 PCS 12" 13 Slot PF-C300-T 350(L) x 180(W) x 320(H)mm N/A   Cassette依材質特性的選擇參考： 材質 耐溫度 特性 Cassette 應用 PFA Cassette 鐵氟龍晶圓盒 200~220℃ 耐 強酸 強氟酸 強鹼 酸鹼製程中使用 PP Cassette 40~60℃ 重量輕， 可焊接，缺點易變形。 一般傳輸製程 PEEK Cassette 150~180℃ 硬度高、耐高溫， 不易變形。 PBT Cassette 100~120℃ 抗燃、耐油性佳 PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗靜電性。   可雷雕、可裝RFID進行載具&材料追蹤     鐵氟龍晶圓盒 / Cassette 加裝RFID   鐵氟龍晶圓盒 / Cassette 雷雕

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