鐵製晶圓盒 / 金屬晶圓盒 / 鐵製晶舟盒 / 金屬晶舟盒 / 耐高溫卡匣 / Metal Cassettem。承載半導體,二級發光體磊晶片、長晶片、晶圓片的容器使用在不同半導體,二級發光體長晶磊晶電池片製程中。
鐵製晶圓盒100mm(4吋) / 金屬晶圓盒 / 鐵製晶舟盒 / 金屬晶舟盒 / 耐高溫卡匣
鐵製晶圓盒 / 金屬晶圓盒 / 鐵製晶舟盒 / 金屬晶舟盒 / 耐高溫卡匣 / Metal Cassettem。承載半導體,二級發光體磊晶片、長晶片、晶圓片的容器使用在不同半導體,二級發光體長晶磊晶電池片製程中,耐高溫,廠內傳送使用。
鐵製晶圓盒 / 金屬晶圓盒 / 鐵製晶舟盒 / 金屬晶舟盒 / 耐高溫卡匣 / Metal Cassettem 2"~12"
無齒隙-高精度定位: 譯碼器直接裝於 旋轉平台,故無齒隙問題., 反覆定位精度 2~5.5sec