PEEK Cassette 晶舟盒 晶圓載具 承載半導體晶圓片的容器,使用在站別運輸或出貨用途,不可使用於化學製程。PEEK Cassette 13 Slot 適用於加厚晶圓或薄化晶圓使用。
200mm(8吋) PEEK Cassette 13 Slot/ 晶舟盒 / 晶圓盒 /晶圓載具
耐高溫、高耐磨、高穩定性、抗靜電性材料 廠內傳送使用 可搭配8" Storage Box氣密保護晶圓 專利字號: 台灣專利字號第M394313號 中國大陸專利字號第CN201741675U號
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