Wafer Shipping Box 晶圓傳輸盒/晶圓載具 承載從晶柱切下的空白晶圓片至下端的晶圓廠單純運輸用,防止晶圓碰撞、摩擦,降低晶圓汙染的風險,不可進入製程含上下蓋。可堆疊,方便清洗完成後直接出貨。
200mm(8吋) Wafer Shipping Box 晶圓傳輸盒/出貨盒/晶圓載具
尺寸(mm)
5" Shipping Box for Thin Wafer
■ 缸體採用合金鋼材質,適合用於頂住工件,使工件避免加工時受切削力影響而變形,與加工時發生震動