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RSP150 - 光罩載具

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RSP150 - 光罩載具

光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150，高潔淨度可杜絕空氣中的汙染，確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護，應用於自動化曝光機台。

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光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150 / 光罩載具
 
BKM7/ Reticle SMIF Pod / RSP150 光罩盒
產品規格
產品名稱：BKM7 光罩自動化傳輸盒
產品編碼：RSP-BKM7
產品尺寸：
　226.92(L) x 229.8(W) x 91.6(H)mm
重　　量：1340g
容　　量：1 PCS
適用光罩：6025光罩
　　　6吋厚度0.25 inch(=6.35mm)之光罩
組成材質：PEEK
 
 
產品說明

光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150，高潔淨度可杜絕空氣中的汙染，確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護，應用於自動化曝光機台。

另區分Purge and Non Purge(具備潔淨充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制)

可搭配曝光機、光罩檢查機、POD自動化倉儲(stocker)…等相關光罩製程、傳輸使用機台。廠牌如ASML、Nikon、KLA…等，符合SEMI SMIF規範之機台，皆有可相容的型號產品提供。

 BKM7/ Reticle SMIF Pod / RSP150 光罩盒
吋別 材質 產品編碼 充氣功能 金屬遮蔽 裝箱數
ASYST ASML Pod ABS RSP-A-A x x 4 PCS
ASYSYT Metal Pod ABS+SUS RSP-A-M x v 4 PCS
ASYST NIKON Pod ABS RSP-A-N x x 4 PCS
BKM7 (RSP150) PEEK RSP-BKM7 v v 4 PCS
UPPP (RSP150) PEEK RSP-UPPP v v 4 PCS
UPNP (RSP150) PC RSP-UPNP x x 4 PCS
CKPP (RSP150) PEEK RSP-CKPP v x 4 PCS
CKAP (RSP150) ABS RSP-CKAP v x 4 PCS
Nikon Reticle Case ABS+AL NR-C150 x x 14 PCS
產品特點
專利字號：台灣專利字號第M409239、D165985號
客製化項目
RFID安裝   條碼貼紙   Run Cad 安裝
RFID安裝   條碼貼紙   Run Cad 安裝
#光罩傳送盒#高雄汙水廢水#半套店#自創品牌

企業名片

  • 公司名稱:中勤實業股份有限公司
  • 連絡電話:03-3**********
  • 電子郵件:ck**8@ckplas.com
  • 詢價官網:https://ckplas.tw66.com.tw
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