Reticle SMIF Pod 光罩載具

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Reticle SMIF Pod 光罩載具

光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150,高潔淨度可杜絕空氣中的汙染,確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護,應用於自動化曝光機台。

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光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150 / CKAP / 光罩載具

 
CKAP / Reticle SMIF Pod / RSP150 光罩盒/光罩自動化傳輸盒/光罩載具
產品規格
產品名稱:CKAP 光罩自動化傳輸盒
產品編碼:RSP-CKAP
產品尺寸:
 214.5(L) x 229.8(W) x 92.5(H)mm
重  量:1013g
容  量:1 PCS
適用光罩:6025光罩
   6吋厚度0.25 inch(=6.35mm)之光罩
組成材質:ABS / PEEK
 
 
產品說明

光罩傳送盒 / 光罩自動化傳輸盒 / Reticle SMIF Pod / RSP150,高潔淨度可杜絕空氣中的汙染,確保6吋光罩在製程站間運送與儲存的安全防護,應用於自動化曝光機台。

另區分Purge and Non Purge(具備潔淨充氣功能可對光罩傳送盒內部做微環境的溫溼度控制)

可搭配曝光機、光罩檢查機、POD自動化倉儲(stocker)…等相關光罩製程、傳輸使用機台。廠牌如ASML、Nikon、KLA…等,符合SEMI SMIF規範之機台,皆有可相容的型號產品提供。

吋別 材質 產品編碼 充氣功能 金屬遮蔽 裝箱數
ASYST ASML Pod ABS RSP-A-A x x 4 PCS
ASYSYT Metal Pod ABS+SUS RSP-A-M x v 4 PCS
ASYST NIKON Pod ABS RSP-A-N x x 4 PCS
BKM7 (RSP150) PEEK RSP-BKM7 v v 4 PCS
UPPP (RSP150) PEEK RSP-UPPP v v 4 PCS
UPNP (RSP150) PC RSP-UPNP x x 4 PCS
CKPP (RSP150) PEEK RSP-CKPP v x 4 PCS
CKAP (RSP150) ABS RSP-CKAP v x 4 PCS
Nikon Reticle Case ABS+AL NR-C150 x x 14 PCS
產品特點
專利字號:台灣專利字號第M409239號
客製化項目
RFID安裝   條碼貼紙   Run Cad 安裝
RFID安裝   條碼貼紙   Run Cad 安裝

企業名片

  • 公司名稱:中勤實業股份有限公司
  • 連絡電話:03-3**********
  • 電子郵件:ck**8@ckplas.com
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