主要使用於晶舟對晶舟晶圓傳送Ø應用範圍於半導體,光電等產業Ø使用於進出貨前晶片更換於不同晶舟
主要使用於晶舟對晶舟晶圓傳送
Ø應用範圍於半導體,光電等產業
Ø使用於進出貨前晶片更換於不同晶舟
Ø進烤箱前之Matal Cassette更換
Ø產品特色:
Ø耐用且簡單操作
Ø適用於各式晶舟
Ø(依客戶提供之晶舟樣式客製化)
Ø防呆裝置可使晶舟在未放置正確位置前,無法操作,以防止晶片撞片導致破裂損壞
SolidCAM高速加工