3100質量流量計
商品介紹:品牌 KOFLOC
型號 3100
類型 質量流量計
測量範圍 0.0006-1.2(m3/h)
精度等級 ±1.0%F.S
發貨期限 10天內發貨
適用介質 氣體
工作壓力
商品介紹:品牌 KOFLOC
型號 3100
類型 質量流量計
測量範圍 0.0006-1.2(m3/h)
精度等級 ±1.0%F.S
發貨期限 10天內發貨
適用介質 氣體
工作壓力 0.98(MPa)
工作溫度 0-50(℃)
產品說明
F.S.流量 N2換算 10SCCM-20SLM 3100
30SLM-100SLM 3105
應 答 性 應答速度≤1秒
精 度 ±1.0%F.S.以內 (3100)
±1.5%F.S.以內 (3105)
線 性 ±0.5%F.S.
再 現 性 ±0.2%F.S.
耐 壓 980KPa
泄 露 率 1 × 10–8Pa m3/second或更小
操作溫度 0~50°C
接觸介質的材質 本體: SUS316L,SUS316,PTFE
密封墊:Viton
連 接 標準:1/2SWL,(3/8 SWL)
可選:1/8SWL,1/4VCR,RC1/4
電氣連接 9針插座
輸出信號 0-5VDC
電 源 +15 VDC (±5%) 100 mA,-15 VDC (±5%) 100 mA
適用於半導體等行業氣體檢測
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