脈衝直流電漿電源供應器

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脈衝直流電漿電源供應器

應用於鍍膜產業、半導體產業、光電產業、太陽能產業、低壓鍍膜電漿設備 可輸出頻率可調整、全自動且容易操作

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產品功能

應用於低壓鍍膜電漿設備

 

產品特色

微處理器控制

可設定的非對稱電壓輸出

具定電壓、定功率,定電流模式選擇

具減弧及電弧抑制

可應用於不同靶材鍍膜,如鎳、銅、鋁、鈦等

輸出頻率可調整

全自動且容易操作

設備穩定高,容易維護

可依客戶需求作更改

 

應用產業

鍍膜產業

半導體產業

光電產業

太陽能產業

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