脈衝直流電漿電源供應器
應用於鍍膜產業、半導體產業、光電產業、太陽能產業、低壓鍍膜電漿設備
可輸出頻率可調整、全自動且容易操作
產品功能
應用於低壓鍍膜電漿設備
產品特色
微處理器控制
可設定的非對稱電壓輸出
具定電壓、定功率,定電流模式選擇
具減弧及電弧抑制
可應用於不同靶材鍍膜,如鎳、銅、鋁、鈦等
輸出頻率可調整
全自動且容易操作
設備穩定高,容易維護
可依客戶需求作更改
應用產業
鍍膜產業
半導體產業
光電產業
太陽能產業
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