應用於真空鍍膜制程之清洗處理、電漿輔助化學沉積制程、電漿輔助濺鍍制程
產品功能
符合電漿特性的電氣規格
具備定功率，定電壓，定電流
內建電弧保護功能
內建過電壓，過電流，過熱，超載等保護功能
可用于單雙火線的電漿系統
PLC 使用者介面相容於 AE-Pinnacle 或 ADL-GSW (擇一)
產品特色
數位控制系統
設定範圍廣
高電漿密度
可客制化洽詢
應用產業
真空鍍膜製程之清洗處理
電漿輔助化學沉積製程
電漿輔助濺鍍製程
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