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直流電漿電源系統

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直流電漿電源系統

應用於真空鍍膜制程之清洗處理、電漿輔助化學沉積制程、電漿輔助濺鍍制程

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產品功能

符合電漿特性的電氣規格

具備定功率，定電壓，定電流

內建電弧保護功能

內建過電壓，過電流，過熱，超載等保護功能

可用于單雙火線的電漿系統

PLC 使用者介面相容於 AE-Pinnacle 或 ADL-GSW (擇一)

 

產品特色

數位控制系統

設定範圍廣

高電漿密度

可客制化洽詢

 

應用產業

真空鍍膜製程之清洗處理

電漿輔助化學沉積製程

電漿輔助濺鍍製程

直流電漿電源系統-2
直流電漿電源系統-2
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  • 公司名稱:馗鼎奈米科技股份有限公司
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