質量流量計-Kofloc-3660

商品介紹：品牌 KOFLOC 型號 3660 類型 質量流量計測量範圍 0.0006-1.2（m3/h）精度等級 ±1.5%以內發貨期限 10天內發貨適用介質 氣體工作壓力 0.98（MPa）工作溫度 5-45（℃） 產品說明 F.S.流量 N2換算 10SCCM-20SLM 閥執行機構 電磁常閉 控制範圍 2%-100%F.S. 應答性 0-100%F.S 2秒以下控制控制範圍應 答 性精 度再 現 性 2%-100%F.S. 設定±98%F.S.至2秒以內（標準） ±1.0%F.S.以內 ±0.2%F.S.以內精 度 ±1.5%F.S. 再 現 性 ±0.5%F.S. 使用壓差 範圍≤5SLM時，49～294KPA 5SLM <範圍≤20SLM時，98～294KPA 壓力限制 980KPA 泄 露 率 1 × 10–8 Pa m3/second或更小操作溫度 5～45°C 接觸介質的材質 本體: SUS316L 隔 膜 Viton TM(可選: Noeprene TM) 閥 座 Viton TM (可選: Noeprene TM)密封材料 Byton TM (可選:氯丁橡膠) 連 接 1/4SWL，可選1/8SWL， 1/4VCR和1/4RC 電氣連接 9針插座控制信號 0-5VDC 輸出信號 0-5VDC 電 源 +15 VDC (±5%) 100 mA –15 VDC (±5%) 200 mA產品針對于大學、研究所用途開發，作為各種氣體分析儀器、真空設備的採用標準，目前是銷售量最大的產品。