韩国原装进口大流量、高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器,使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。广泛应用于半导体工业和其他行业,产品设计坚固、耐用,且经济。
韩国原装进口大流量、高精度气体质量流量计/气体质量流量控制器,使用特别的热传感器和控制电路提高计算精度。
应用:
l 所有工业
l 气体混合及分析
l 注气、表面加工行业(PVC,CVD,反应器等)
l 半导体工业
l 部件泄露检测
l 产品研究和开发
l 高压行业
l 光纤
l 燃料电池
l 反应器系统
l 气体的混合系统
优势:
l 测量质量流量
l 不需要温度、压力补偿
l 紧凑的流量控制系统
l 高精度(±1%F.S)
l 耐高压(95公斤)
l 快速响应时间(<1秒)
l 高重复性(±0.25%F.S)
规格:
型号 | M3500V/A |
流量范围(N2) | 300~1000 slpm |
响应时间 | <2秒 |
精确度 | ±1% |
重复精度 | ±0.25% |
输入输出信号 | 0~5Vdc or 4~20mA |
供电 | +15Vdc or +24Vdc,350mA |
最大工作压力 | 60~240 psia |
最大工作温度 | 0~50℃ |
漏率 | 1×10-9atm.cc/sec |
控制范围 | 2~100% |
BCT210 多功能數位可規劃轉換器可規劃輸入溫度訊號及類比電壓電流訊號範圍(PT100 熱電偶J