垂直度量測-氣浮導軌

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垂直度量測-氣浮導軌

高精度垂直量測,以氣浮方式製做,完全無接觸式,

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行程:800mm

精度:5u

環境濕度 Humidity:50%

溫度 Temperature:20±1℃

壓力 using air pressure: 4kg/cm2

平台平面度 5μm 以下

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品質優良、交貨迅速,且接受小額訂單及接受原廠委託設計製造之ODM、OEM。

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  • 公司名稱:AOI,半導體設備,wafer,鍍鋁片,氧化膜片,氣浮導軌,花崗石構件
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