高精度垂直量測,以氣浮方式製做,完全無接觸式,
行程:800mm
精度:5u
環境濕度 Humidity:50%
溫度 Temperature:20±1℃
壓力 using air pressure: 4kg/cm2
平台平面度 5μm 以下
三千金屬公司為鋼珠滑軌功能設計、製造、銷售之專業廠商,生產抽屜用之鋼珠滑軌再跨入工業用途等專業運用之