高精度垂直量測,以氣浮方式製做,完全無接觸式,
行程:800mm
精度:5u
環境濕度 Humidity:50%
溫度 Temperature:20±1℃
壓力 using air pressure: 4kg/cm2
平台平面度 5μm 以下
品質優良、交貨迅速,且接受小額訂單及接受原廠委託設計製造之ODM、OEM。