原子顯微鏡測量裝置

我司代理的  SOFTWORKS
AFM產品系列已獲日本LED、TFT、Solar、生技及歐美大廠廣泛應用於各種薄膜厚度、粗糙度及外觀輪廓量測。其產品具有下列優點:

   1.專利的scan stage設計,範圍的Scan時不會發生傾斜，再現性高。

   2.自動化採用CASETTE IN/OUT,Robot Transfer wafer程序测试(特定機種)。

   3.量測Sample Size的標準為Φ300mm,2inch到6inch ,可輕鬆對應。

   4.Nano Level的表面粗糙度或深度22μm的段差量測、傾斜量測都可以對應。

另外,今年更推出小型的handy AFM是可攜式的產品,具有精巧及精確度高,適用於需要移動量測或小型實驗室用。