旋轉清洗與旋乾設備，快速升溫爐RTA,RTP 乾式蝕刻機
提供製造旋轉清洗與旋乾設備，並提供代理快速升溫爐RTA,RTP 設備及乾式蝕刻機Plasma Etrcher整合服務。 半導體用垂直式及水平式晶圓藥水清洗蝕刻設備製造、研發、販賣、TEGAL、Matrix 、Lam 乾式電漿蝕刻機販賣、快速升溫爐製程應用於退火、回火、合金等產業應用, 各式酸鹼藥水使用晶片承載盒、傳送盒2' , 2.5' ~ 12' 。
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