半導體機器,設備,零件,材料,晶片,外延片
ULVAC-蒸鍍機-VPC-1100,a.腔體:390mm(直徑) X 350mm(高)
ULVAC-蒸鍍機-VPC-1100,
a.腔體:390mm(直徑) X 350mm(高)
b.單組電流源控制器,(雙組選配)
c.擴散幫浦(高真空)
d.油幫(低真空)
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