村田工業漿料Slurry回收系統可降低半導體晶圓和玻璃基板的製造成本
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漿業Slurry回收系統
使用漿料回收系統可降低半導體晶圓和玻璃基板的製造成本!
如果在半導體晶圓和玻璃基板的研磨和拋光過程中去除廢棄漿料中的晶片和加工碎片,則漿料可以完全重新利用。然而,目前漿料很難去除,為了保持研磨拋光性能和加工精度,一旦用過的漿料就被丟棄。
這增加了包裹和拋光的成本並造成大量的工業廢物。
我們的漿料回收系統是應用液體旋流器技術的系統。
它能有效去除加工碎片和切屑,並回收 50% 至 80% 的磨料粉末,有助於降低成本和減少浪費。
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