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C4F8

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HALOCARBON c318 (C4F8) Octafluorocyclobutane Application Halocarbon c318 is used for a chamber

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HALOCARBON c318 (C4F8)
Octafluorocyclobutane

Application
Halocarbon c318 is used for a chamber cleaning gas for semiconductor industry. C4F8 is used for the replacement of conventional chamber cleaning gas such as C2F6. It is also used as etching gas in semiconductor and DRAM processes.

Production Specification
Purity        99.999%       99.995%
N2                     3                   8
O2                     1                   2
OHC                 4                   10
HF                   0.1                0.1
H2O                  1                   1
*Unit: ppm

Package
Cylinder
8L ~ 50L Steel Seamless Cylinder
1000L Steel Cylinder

Valve
Standard CGA valve
DISS valve


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