日本Engis平面度量測儀針對拋光定盤之平面 量測，能確認拋光定盤之變形量，而量測所 得數值為修整拋光定盤依據，用以調整超精 密拋光定盤修整器或鑽石電鍍修正環修整之 移除量，並且可判斷拋光定盤
日本Engis平面度量測儀針對拋光定盤之平面
量測，能確認拋光定盤之變形量，而量測所
得數值為修整拋光定盤依據，用以調整超精
密拋光定盤修整器或鑽石電鍍修正環修整之
移除量，並且可判斷拋光定盤之變形狀態，
做為拋光製程之改善參考。
平面度量測儀並附帶大理石校正定盤， 平面
度量測前可以自行校正。
Engis Lapping Gauge Unit
Use for checking flatness of lapping
plate against a granite master block
量測，能確認拋光定盤之變形量，而量測所
得數值為修整拋光定盤依據，用以調整超精
密拋光定盤修整器或鑽石電鍍修正環修整之
移除量，並且可判斷拋光定盤之變形狀態，
做為拋光製程之改善參考。
平面度量測儀並附帶大理石校正定盤， 平面
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