適用於太陽能電池製程,對太陽能矽晶片之邊緣做蝕刻
產品功能: 適用於太陽能電池製程,對太陽能矽晶片之邊緣做蝕刻
產品特色: .專利設計之特殊電漿電極 .高密度電漿源 .處理速度快、產能高、可靠度高 .操作範圍廣 .全自動且容易操作 .設備穩定度高,容易維護 .可依客戶需求作更改 應用產業: .太陽能電池 .太陽能矽晶片邊緣做蝕刻
Specifications