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廢氣處理設備

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廢氣處理設備

KT1000FA設備採電熱水洗式設計，比一般瓦斯燃燒式機種節省耗材成 本，也不會有燃燒後產生二氧化碳的問題。其均溫性佳，處理效率較 高，台灣兩大晶圓代工廠共採購KT1000FA超過1,100台。K

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KT1000FA設備採電熱水洗式設計，比一般瓦斯燃燒式機種節省耗材成 本，也不會有燃燒後產生二氧化碳的問題。其均溫性佳，處理效率較 高，台灣兩大晶圓代工廠共採購KT1000FA超過1,100台。KT1000FA 堅固耐用且安全，第一部售出的機台已逾八年，至今仍未除役，深受 客戶肯定。 適合處理: Deposition gas SiH4, SiH2Cl2, WF6, NH3, PH3, SiCl4, TEOS, Si2H6, TDMAT, GeH4, 3MS, 4MS　etc. 適合處理: Cleaning gas: NF3
#電熱式#廢氣處理#Scrubber#水洗式#NF3#SiH4#耐熱馬達#平鎮小蜘蛛吊車#女襪供應商

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  • 公司名稱:台灣康肯環保設備股份有限公司
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