日本康肯株式會社(Kanken Techno)1978年成立,投入高科技產業的揮發性有機氣體(VOCs)處理,已有30年以上專業經驗,為製程廢氣處理(Local Scrubber)的專家,在日本Scrubber界市占率第一。Kanken台灣子公司---台灣康肯環保設備公司2008年7月成立。
KT1000FA設備採熱電式設計,比吸附式機種節省耗材成本,也不會有瓦斯燃燒式機種會產生二氧化碳的問題。其均溫性佳,處理效率較高,台灣前二大晶圓代工廠共採購KT1000FA超過2,000台以上。第一部售出的機台已逾七年,至今仍未除役,深受客戶肯定。
KT1000FA---在12吋晶圓生產線的薄膜市佔率始終遙遙領先對手;在大陸、新加坡及馬來西市場也有很好的口碑。該機處理的濃度符合需求,可提供客製化機台為其最大優勢。
KT1000HA---處理NF3、C2F6及C3F8所需的溫度較高(1,100度以上),業界已採購100台以上,使用情形良好,是重視環保的企業眼中的優良產品。
KPL-Series--處理CF4,SF6,PFCs等需高溫分解氣體,本機台的特性為電漿處理方式,該機台已有100台以上實績,深受客戶肯定信賴。
*服務項目:
1.主要銷售日本KANKEN廢氣處理機台及其相關零件,多用於國內知名半導體廠。
2.機台安裝、Parts販賣、維修保養及問題排除。
3.VOC處理設備、水處理設備、燃燒式處理設備等大型處理設備。
4.廢毒氣處理詢問窗口等。
5.有在太陽能廠,LED廠及半導體產業有實績
VOC 觸媒燃燒式 瓦斯燃燒式 活性碳 溶劑回收式 半導體廢氣處理 Scrubber
#電熱式#廢氣#燃燒#VOC#熱交換器#SCRUBBER
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