XXY滑台,固名思義就是兩個X方向的軸向,搭配一個Y方向軸向,剩餘一軸採自由軸,所以有人稱XXY或是日本常用的名稱"UVM",它的出現用來取代某些傳統XY€,不管名稱為何三軸對位是近年發展高精密對位的
16輸入表面溫控器,16輸入温度熱電偶,16迴路表面溫度計,壓力控制器,16輸入熱電偶温度控制器,1