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XXY滑台，固名思義就是兩個X方向的軸向，搭配一個Y方向軸向，剩餘一軸採自由軸，所以有人稱XXY或是日本常用的名稱＂UVM"，它的出現用來取代某些傳統XY€，不管名稱為何三軸對位是近年發展高精密對位的趨勢。使機構達到最高精度1um 適合場合 PCB貼合，曝光設備，面板貼合機，晶粒印刷版設備，WaFer對位設備，半導體設備
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