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ARS-散射儀粗糙度傳感器

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ARS-散射儀粗糙度傳感器

AngleResolvedScattering/散射儀粗糙度傳感器(Fraunhofer 專利)

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AngleResolvedScattering/散射儀粗糙度傳感器

光散射感測器和散射儀器為 SpectroNet Jena 所開發， 此精密儀器功能超出了傳統的分佈亮度計，滿足高精度測量的需求。其測量可直接連結對應於實驗室設備的測量結果。依循Fraunhofer 專利：WO002010127872A1和DE102012005417B4所述進行缺陷檢測分類，提供最嚴謹的技術規格條件。

散射分析儀.粗糙度傳感器對於測量光散射從技術面和光學元件的高階儀器，主要規格要求為：

*高動態範圍和線性度(在至少5量級的大小)

*高靈敏度(雜訊等效ARS ~ 10-5 sr-1)對應於低散射損失和粗糙度在次奈米等級

*大物件區域的特徵(表面均勻性和檢測缺陷的特徵)

*快速測量時間(< 1秒每測量點)

(ARS.ANGLE.RESOLVED.SCATTERING.散射.衍射.粗糙度.光散射.SPECTRONET.FRAUNHOFER.桌上型.晶圓粗糙.WAFER.RA.BRDF.曲面.大面積.microscope.顯微鏡.defect.缺陷.分析.缺陷判別.宏力.HTI)

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