AST聚昌科技有限公司

AST聚昌科技經ISO9001及TUV認證為專業光電暨半導體製程設備設計製造銷售公司, 提供PVD(Evaporator, Sputter), CVD(PECVD, HDP-CVD), Plasma Etcher, Plasma Stripper, Wafer Bonder, Silicon Ingot Puller 單晶長晶爐, RTP/RTA 快速昇溫退火設備, AST供應完整產品線於產業量產型設備, 初期試產型設備, 研發單位用系統, 單機設備及自動化整合設備, 與整線製程設備提供. AST提供製程發展中心, 為客戶進行設備評估之樣品試做, 並能針對客戶製程需求共同合作開發製程設備, 服務產業涵蓋發光二極體, 雷射二極體, 太陽能電池(單晶/多晶/非晶/微晶矽, 薄膜, CIGS), 功率半導體, 化合物半導體, 先進封裝, 3D-IC(晶圓鍵合, TSV), 微機電, 生物晶片, 電磁濾波元件, 分離式元件, 主/被動元件, 薄膜/厚膜鍍製, 及新興產業. AST分佈全球之行銷及服務網絡與即時後勤系統為AST取得國際性製程設備產業席次, 設備進駐全球光電暨半導體元件製造公司, 與全球光電及半導體產業同步發展.

. Provided Process Equipment: . 1) Sputter(Downstream/Upstream/Vertical) . 2) Evaporator(Thermal/E-beam/Ion Beam Assist Deposition) . 3) CVD(PECVD/HDP-CVD) . 4) Plasma Etcher(RIE, ICP, TCP, HDP High Density Plasma Sorce) . 5) Plasma Stripper/Descum/Asher/Cleaner . 6) Wafer Bonder(Adhesive/Eutectic/Anodic Bonding) . 7) Silicon Ingot Puller . 8) RTP/RTA(Rapid Thermal Process) . Served Industry Application: . 1) LED/LD . 2) Solar Cell (Single/Poly/Micro Crystal/Amorphous Silicon,